重大进展,关于重大进展的所有信息

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电子束量测再迎重大进展，东方晶源首台8英寸CD-SEM交付国内客户！ 近日，东方晶源首台8英寸关键尺寸量测装备(CD-SEM)出机国内知名集成电路制造和整体方案提供商燕东微电子。自2021年6月首台12英寸CD-SEM出机 2022-04-13 15:17:44

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